使用酒精或汽油浸濕過的綢布擦洗真空爐并使其枯燥
真空淬火爐停爐后，爐內需保持在66.5LPa以下的真空度。
真空爐爐內有塵埃或不干凈時，使用酒精或汽油浸濕過的綢布擦洗干凈并使其枯燥。
爐體上的密封結構，真空體系等零部件拆裝時，使用酒精或汽油清洗干凈并經過枯燥后，涂上真空油脂再組裝上。
真空淬火爐爐子外外表常常擦洗，料理清潔干凈。
零件及零件車需清洗枯燥后方可進入爐內，避免水分、污物進入爐內。
各傳動件發現卡位、限位不準，控制失靈等現象時，應立即排隊，不要強操作，以免損壞機件。
機械傳動件應定時加油或換油保養。
真空泵，閥門，丈量儀器，熱工儀表，電氣元件等配套件，均按產品的技能說明予以修理和保養。
修理操作應在停電情況下進行。在帶電情況下進行修理時，必須保證人身及設備的肯定安全。
真空爐呈現於20世紀30年代前后。1927年美國製成電工資料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業上已用於熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應爐在工業上得到廣泛使用。1960年美國研製成油淬真空爐。
真空爐一般由爐膛﹑電熱設備﹑密封爐殼﹑真空體系﹑供電體系和控溫體系等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封資料密封。為避免爐殼受熱后變形和密封資料受熱蛻變﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位於密封爐殼內。依據爐子用處﹐爐膛內部裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝﹐有的還裝有主動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵﹑真空閥門和真空計等組成。
真空回火爐可分為單室、雙室和立式等一般采用鎳鉻帶加熱最高溫度為800℃。真空回火爐一般適用要求回火后零件外表光亮、沒有氧化色。
真空退火爐：
真空退火爐可分為單室、雙室和立式。真空退火爐依據零件資料可選擇中高溫和低溫，（中高溫800℃～1350℃、低溫800℃）。
真空淬火爐：
真空淬火爐又可分為真空油淬爐和真空氣淬爐。
真空油淬爐適用于模具鋼、彈簧鋼、不銹鋼、軸承鋼、高溫合金鋼等的真空熱處理。其主要特點是適用的資料范圍廣、淬透性強、成本低、淬火油可重復使用。不足之處有；變形量相對要大一些，工件后續需要清洗。真空油淬爐從結構上可分為雙室爐和三室爐等