真空爐即在爐腔這一特定空間內使用真空系統（由真空泵、真空測量設備、真空閥門等元件通過精心拼裝而成）將爐腔內部分物質排出，使爐腔內壓強小于一個標準大氣壓，爐腔內空間從而完成真空狀態。
真空爐不只用于一般工件的淬火、回火、退火和正火，而且可進行化學熱處理如真空滲碳(包括真空碳氮共滲)、真空離子滲碳和輝光離子滲氮等，一起可完成金屬的燒結、釬焊和真空鍍膜等，真空滲碳具有滲層均勻和重現性好、表面清潔亮光和耗費的氣體少、節省氣源等優點。
真空度的凹凸事關設備的出產才能，所以怎么前進真空爐的真空度是出產過程中一個非常重要的課題。
真空爐在蒸騰過程中前進系統溫差有兩個途徑：一時前進加熱蒸汽壓力，二是前進末數效真空度。但是前進首效加熱蒸汽壓力會帶來后幾效溫度升高，出產才能的前進并不明顯，反而會構成結垢加劇，運轉周期縮短，添加設備腐蝕等問題。因此，前進真空度是添加系統總溫差的不二之選。
近幾年來廠家運用一種新式的大氣式混冷器來代替傳統的混冷器取得了較好的效果。新式混冷器其實便是用噴頭代替了淋水板，冷卻水通過外形分布在混冷器內的噴頭構成了水霧，這樣大大添加了冷卻水與二次蒸汽的汽液接觸面積，前進了冷卻水的使用功率，真空爐從而取得了較高的真空度。實驗證明，這種冷凝器所構成的真空度比傳統的淋水板式混冷器要前進2000PA以上。
