由高熔點金屬制成的真空熱處理爐加熱元件會跟著真空度和溫度的升高而蒸騰加重，如鉬在1800℃、鉭在2200℃、鎢在2400℃以上運用時，蒸騰更為劇烈。石墨的熔點很高為3700℃，但其在真空中運用溫度超過2400℃時也會敏捷蒸騰，為了按捺真空熱處理爐加熱元件在真空中的蒸騰，可在爐內通入一定壓力的惰性氣體或高純氮氣。用高熔點金屬鉬、鎢、鉭制成的真空熱處理爐加熱元件，在氧化和滲碳氣氛中都會發生反應，因而不能在上述氣氛中運用。鉬在氧化性氣氛中會生成極易升華的氧化鉬，在滲碳性氣氛中會生成高電阻率的碳化物，甚至形成電熱元件開裂。
石墨資料作為真空熱處理爐加熱元件在較低溫度運用時，其蒸騰丟失很小，損壞多因為資料功能、應力損壞、氧化速度、機械電氣毛病引起的損壞。石墨資料的材質對加熱元件有較大影響，假如挑選顆粒過粗，材質不均勻的石墨資料做加熱元件，部分缺陷會導致部分電阻過大，發生部分過熱，導致運用壽命下降，甚至會燒斷加熱器；石墨加熱器工作時發生的熱應力會對其發生損壞。石墨在低溫時導熱功能良好，在高溫時就下降為低溫時的幾分之一，形成真空熱處理爐加熱元件外表和心部的溫度差，使斷面伸長不一，發生熱應力，損壞加熱元件；石墨加熱器的氧化生成物容易散逸，不會形成細密氧化膜保護層，從而使氧化連續進行，假如爐內密封不好或惰性氣體純度不行會加重真空熱處理爐加熱元件的氧化；爐內工件資料蒸發凝聚使石墨加熱元件與絕緣件連電短路也會損壞真空熱處理爐加熱元件；當石墨加熱元件與其它金屬零件相互連接時，因為線膨脹系數差別大形成應力，使石墨件受擠壓或拉伸，加快石墨加熱元件開裂；此外石墨件加工、安裝質量對真空熱處理爐加熱元件的運用壽命也有十分明顯的影響，石墨件觸摸面潤滑程度不行會使觸摸電阻過大，燒壞真空熱處理爐加熱元件，安裝時過松會呈現因為觸摸不良而發生的拉弧，從而燒壞加熱器和接頭，過緊則會因為石墨資料的塑性差而使其受力損壞。
