從理論上講，金屬資料都可以在真空爐中熱處理。但因技術要求、加工成本、工藝完成的難易程度等原因，下列資料(工件)不宜在真空爐中熱處理。
1.碳素鋼。從成本視點考慮，碳鋼價格較低，成品件價格較低，用真空爐處理實屬浪費，除非高贏利工件或許工件已經沒有加工余量，對表面質量要求嚴苛時的權宜之計。
2.某些運用特別工藝的資料(工件)。比如為獲取最佳機械性能，有些工件要求取得貝氏體，一般用等溫淬火來完成，真空熱處理爐很難完成;再如T10鋼，要求高硬度、低變形，一般用水淬油冷工藝完成，真空爐盡管可以用高壓氣淬取得高硬度，但因在Ms點以下溫度冷速較快，變形較大。
3.高溫對N元素靈敏，易形成有害效果的資料。真空爐為防止合金元素高溫時蒸發，通常在高溫下充高純氮氣堅持分壓，冷卻時一般采用充氮冷卻。故該類資料不宜用真空爐處理。
