1、真空熱處理爐加熱元件資料
因為真空熱處理爐內處于真空狀況，因此，加熱元件以熱輻射方式向工件傳遞熱量，此外，加熱元件的揮發速度高于普通電爐。在規劃真空熱處理爐中加熱元件的資料時需求考慮：選用電阻率較高的資料；較小的電阻溫度系數；滿足的高溫機械強度；較小的熱膨脹系數；不與爐內維護氣氛及爐襯等發生化學反響；耐熱性；易加工性等。此外，還需依據真空熱處理爐的溫度、結構、工藝要求、經濟性等詳細因素歸納考量后選擇加熱元件資料。
真空熱處理爐中的加熱元件依據資料不同可分為金屬和非金屬兩種。金屬加熱元件所用資料有：鎳鉻合金、鐵鉻鋁合金、鉑、鉬、鎢、鉭等；非金屬加熱元件有：碳化硅、二氧化鉬、石墨等。真空電阻爐內常用電熱資料類型及特性如表1 所示。
1.1、金屬資料加熱元件
鎳鉻、鎳鉻鐵合金具有較高而安穩的電阻率，耐腐蝕及外表抗氧化性能好，在高溫下有較好的強度，抗振蕩、變形性能好，有杰出的加工性能和可焊性，廣泛用于工業電爐，冶金、家用電器，機械制造，發熱元件和電阻變阻器等資料。鐵鉻鋁合金是一種高電阻合金資料，具有電阻率高、電阻溫度系數小、耐高溫壽命長、重量輕、價格便宜、外表熱負荷較鎳鉻合金高等長處，在大氣條件下比鎳鉻合金運用壽命長，特別適合在含有硫和硫化合物氣氛中運用，是工業電爐，家用電器、紅外線加熱裝置中理想的發熱資料。以上兩種合金在空氣中的最高運用溫度在1100~1300℃，考慮到金屬蒸騰影響，在真空中的最高運用溫度應略有降低。
為了延長鐵鉻鋁合金在真空中的運用壽命，可先將由鐵鉻鋁合金制成的加熱元件在空氣中加熱到1000~1050℃，保持7~8 h，使其外表發生一層氧化膜。對用鎳鉻合金制成的加熱器盡管沒有維護的氧化薄膜，但在真空中仍然可以運用到1130~1170℃，而且具有杰出的耐熱性與耐腐蝕性。
以上兩類合金資料一般適用于真空熱處理爐額外溫度低于1000℃的情況下。對于額外溫度高于1000℃甚至更高的真空熱處理爐，加熱元件則應選取難熔金屬或非金屬資料。難熔金屬資料包含鎢、鉬、鉭、鈮、鉑等，其間前三種資料較為常見。
額外溫度在1000℃ ~1600℃( 少數可達1700℃)的真空爐，加熱元件資料可選擇鉬絲或鉬片作為發熱體；溫度低于2200℃情況下，可選用難熔金屬鉭作為加熱元件資料，鉭的加工性能優于鉬，可以焊接，加工時邊角料可以收回，可是不可在氫氣氣氛下運用，可是鉭金屬很昂貴，一般只在特別情況下用作加熱元件資料；鎢是運用溫度最高的難熔金屬，最高溫度可達2 400～2500 ℃，但因為鎢片耐沖擊力差，質地很脆，加工時易發生裂紋，因此成品率很低。
1.2、非金屬資料加熱元件
碳化硅資料的運用溫度高，可以在空氣中運用， 資料價格低， 在空氣中的運用溫度可達1400℃，但在真空中元件間的電阻一致性差，易老化，新老元件不易匹配，需配調壓器，并且，資料質脆，易開裂，且存在連接麻煩等問題，所以真空爐中很少運用。
二硅化鉬資料的運用溫度高，可以在空氣中運用，在空氣中最高運用溫度可達1700℃，并且價格低廉，運用時需求配變壓器，但考慮到資料在室溫下脆，在1300℃變軟，并且跟著真空度的進步，元件的最高運用溫度會隨之下降，故在真空爐中也很少采用。
石墨是最常見的真空熱處理爐的非金屬加熱元件資料，具有耐高溫、熱膨脹小、抗熱沖擊、高溫機械強度好、加工性能好、價格低廉、線膨脹系數挨近零、電阻溫度系數小、容易得到高溫、熔點高等長處，在真空熱處理爐中得到廣泛應用。
此外，運用石墨加熱元件，可以使爐內氣氛中含有低濃度的碳與殘余氣體中的氧氣和水蒸氣分子發生反響，發生凈化效果，并能與已氧化的金屬發生復原反響，起到一定的除銹效果。
