真空燒結(jié)爐的常用元件：
真空燒結(jié)爐常用石墨件件有石墨立柱、石墨連接片、石墨風(fēng)管、石墨導(dǎo)電桿、石墨床板、石墨加熱棒、石墨螺母、石墨橫梁、石墨氈等制品。
真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件和功率整流器件的燒結(jié)過程，可用于真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。它是特種半導(dǎo)體設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備。設(shè)計理念新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，可在一臺設(shè)備上完結(jié)多種工藝流程。也可用于其他范疇的真空熱處理、真空釬焊等工藝。
