真空爐即真空熱處理爐，根據使用設備來區別，大約包括以下種類:
真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐、真空回火爐、真空燒結爐、真空渙散焊爐、真空滲碳爐等。
真空爐按加熱辦法分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐(又稱電子炮擊爐)和等離子爐等。
真空爐一般由主機、爐膛、電熱設備、密封爐殼、真空系統、供電系統、控溫系統和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱蛻變，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用途,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空系統首要由真空泵、真空閥門和真空計等組成
真空淬火(回火、退火)就是經過把材料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理辦法。
真空釬焊即在真空狀態下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和活動形成焊縫的一種焊接工藝(釬焊溫度因材料不同而異)。
真空燒結即在真空狀態下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒經過粘著和渙散作用而燒結成零件的一種辦法。
真空加磁 首要適用于金屬材料加磁處理。
真空爐呈現于20世紀30年代前后，1927年美國制成電工材料真空退火爐，1953年真空自耗電弧爐在工業中得到使用。