真空爐呈現溫度過高的故障應依照下面的過程進行處理。首要檢查地址作業區溫控器參數是否正常，參閱其他正常運用中的溫控器校對一切參數。根據電路圖檢查相應作業區的固態繼電器輸出端是否被擊穿，具本方法：停電后，用萬用表電阻檔丈量固態繼電器輸出端兩點之間的電阻，正常時，電阻會有幾兆歐以上，假設被擊穿，則幾乎沒有電阻，有必要按同類型換上新的。
在通電開機的情況下，用手輕搖相應作業區內的熱電偶探頭，看看所對應的溫控器閃現是否跳動起伏很大，假設有此現象，則闡明熱電偶探頭接觸不良，需替換新的。
首要檢查地址作業區溫控器的參數是否正常，是否有輸出信號。檢查所對應作業區的熱電偶是否受損，為了驗正這些熱電偶是否杰出，可將它們跟正常溫控器上的熱電偶交流接到溫控器上，調查溫度閃現情況。
假設確實是熱電偶損壞，有必要替換。假設溫控器、熱電偶都沒問題，則需求查驗發熱管是否正常通電作業。方法：通電開機后，發動加熱，根據電路圖，直接用試電筆檢驗對應作業區的發熱管銜接的導線（在固態的輸出端上白色高溫線就是），看是否有電到。
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