真空淬火爐毛病現象之一是達不到所要求的作業真空度，同是也是比較難以解決的毛病，它對出產和設備的損害比較大，帶病出產甚至會形成加熱室損毀的嚴重后果。真空走漏毛病維修的要害，是看能否精確地判斷出毛病點（走漏點）。真空度抽不上去的或許原因許多，也許是真空機組的抽氣能力不行，也或許是漏率偏高，又或是兩者都有
真空淬火爐處理方法：這時候就要想辦法進行排查：將真空室抽到一定的真空狀況后，封閉真空閥，假如真空計數值上升很快，多數情況是真空室漏了，這時應先查出漏點并治漏。
如真空計數值上升很慢，就或許是真空機組抽氣能力不行，這時可將重點到查找真空泵及閥門的走漏上，或是真空泵油污染、氧化了，或是前級管路密封欠好，泵油缺乏，或是泵油乳化，軸封漏油等，這時要替換真空泵油或直接替換真空泵。假如發現是設備真空度在短時間內迅速下降，一般是由爐門、真空閥、中間隔熱門等動態密封件老化、劃傷及氧化皮脫落至密封線上所造成的，能夠經過清理替換密封件，手動開關閥門檢修。
假如這些當地沒有問題，那就還要檢查真空室與外界接口方位，如銜接法蘭、水冷電極、管道及真空管等，有時可使用丙酮檢漏法觀察真空度改變，細心查找漏點。實在找不到漏點的話，就要把一切懷疑或許漏氣的當地全部拆檢并重新安裝，或許加工實心法蘭堵住后進行試驗。
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