真空回火爐是使用真空體系，在爐腔的特定空間內，由真空泵、真空丈量設備、真空閥等部件組成的真空爐，將爐腔內的一些物質排出，使爐腔內的壓力小于一個標準大氣壓，使爐腔內的空間處于真空狀況。
真空回火爐的優點
1.徹底消除工件外表在加熱過程中的氧化和脫碳，取得無變質層的潔凈外表。這關于那些磨削時只磨削一側的刀具(如麻花鉆，磨削后槽面的脫碳層直接暴露在切削刃上)切削性能的提高有很大的聯系。
2.對環境無污染，無需三廢處理。
3.爐溫丈量和監控的準確性明顯提高。熱電偶和爐溫指示值達到1.5°c，但爐內大量工件不同部位的溫差較大，如果選用淡薄氣體強制循環，仍可控制在5°c的溫差范圍內。
4.機電一體化程度高。在提高溫度測控精度的基礎上，工件移動、氣壓調節、功率調節可預編程設定，淬火回火可分步進行。
5.能耗明顯低于鹽浴爐。現代真空爐加熱室選用優質隔熱資料制成的隔熱墻和隔熱屏，能將電加熱能量集中在加熱室內，節能效果顯著。
真空回火爐一般由主機、爐膛、電加熱設備、密封爐殼、真空體系、供電體系、溫控體系和爐外運輸車輛組成。密封的爐殼用碳鋼或不銹鋼焊接，可拆卸部件的結合面用真空密封資料密封。為了避免爐殼變形和密封資料受熱變質，爐殼一般選用水冷或風冷冷卻。爐膛坐落密封的爐殼內。
根據爐子的用處，爐子內部有不同類型的加熱元件，如電阻器、感應線圈、電極和電子槍。金屬冶煉真空爐的爐膛內裝有坩堝，有些還裝有自動澆注設備和裝卸資料的機械手等。真空體系主要由真空泵、真空閥和真空計組成。