真空爐是真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵體系聯接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)h。爐內加熱體系可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。很高溫度可達3000℃左右。首要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
1、真空氣淬爐安全性設計原理
真空氣淬爐的首要結構部件,影響設備安全性的爐殼、爐門及齒圈的結構組成。因為真空氣淬爐在正壓和負壓重復替換使用的特殊性,為了確保設備使用的安全性一同完成設備的經濟性,對爐殼和齒圈通過核算法、查圖法進行理論核算,并采用有限元分析法對結構進行安全性分析。通過力學模型對設計結構中的薄弱環節進行結構優化,達到結構安全性的要求。
2、真空氣淬爐處理的作業原理
真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬即將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體(如氮)進行冷卻。適用于氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的材料。液淬是將工件在加熱室中加熱后，移至冷卻室中充入高純氮氣并立即送入淬火油槽，快速冷卻。假如需要高的表面質量，工件真空淬火和固溶熱處理后的回火和堆積硬化仍應在真空爐中進行。
真空高壓氣淬爐首要用于高速鋼、模具鋼、不銹鋼、合金鋼、鈦合金等合金材料的精細零件的真空光亮氣淬和真空光亮退火。
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