從理論上講，金屬質料都可在真空爐中熱處理。但因技藝要求、加工本錢、工藝完結的難易水準等緣故，下面質料(工件)不宜在真空爐中熱處理。
1.高溫對N元素敏感，易造成有害成效的質料。 真空爐為防備合金元素高溫時蒸發，平常在高溫下充高純氮氣維持分壓，冷卻時一般選用充氮冷卻。故該類質料不宜用真空爐處理。
2.碳素鋼。從本錢角度研討，碳鋼價值較低，成型物品件價值較低，真空爐品牌了解到用真空爐處理實屬耗費，除非高利潤工件或許工件依然沒有加工余量，對外表品質要求刻薄時的權宜之計。
3.某些運用奇特工藝的質料(工件)。比如為獲得很好的機械功能，有些工件要求獲得貝氏體，一般用等溫淬火來完結，真空熱處理爐很難完結;再如T10鋼，要求高硬度、低變形，一般用水淬油冷工藝完結，真空爐盡管無妨用高壓氣淬獲得高硬度，但因在Ms點下面溫度冷速較快，變形較大。
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