1、作業進程真空燒結爐真空度下降:當真空度低于50pa時,關主閥開粗抽閥。當真空度康復后關粗抽閥開主閥。
2、抽低真空(粗真空):當作業真空度低于2×10-1pa(即壓強高于2×10-1pa)時,只開機械泵和羅茨泵。這時分散泵不加熱,主閥不開,但要開前級閥。
3、連續作業:當連續作業時,一般分散泵不停(間隔時間不大于1小時),當對真空燒結爐爐內充氣時,先關主閥和粗抽閥,然后停羅茨泵,由機械泵作分散泵前級泵(有保持泵的能夠關羅茨泵和前級泵,開保持泵的前級管路閥)。
4、二次抽真空:當第2次抽真空時,操作程序是先關前級閥,然后開粗抽閥,當真空度到達50Pa后,開前級閥再開羅茨泵,然后按正常操作。
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