真空氣氛爐的特色:
1、保溫:進口耐高溫陶瓷棉保溫及陶瓷板、高鋁棉三重保溫。
2、加熱器:瑞典進口KANTHAL加熱器,經(jīng)用、升溫安穩(wěn)、加熱速度快。
3、天然空氣隔熱式,輕巧易轉移。
4、升溫速度快1100℃約只須30本分。
5、爐內雙面輻射方式加熱,溫度分布均勻。
6、溫度控制:PID自動控制LED數(shù)字顯現(xiàn)。
7、內部選用耐高溫陶瓷板,不易變形,外部選用鍍鋅加高溫烤漆美觀,不易掉漆。
真空爐的注意事項:
1、不行與酸類混置,因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
2、除了做試驗外,不要停留在高溫爐管區(qū)。
3、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時,請立即通知有關人員(技術員等)。
4、請節(jié)約純水用量。
5、試驗作業(yè)完畢時,若無人持續(xù)運用,請關特別氣體,保存N2活動,爐管保持在standby溫度,并檢查是否有其它電源該關而沒有關,如:cleanhood燈火、煮酸用的小電爐或其它,請隨手關掉。
6、處理HF時,請戴手套,如不小心碰到HF時,請立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。真空氣氛電爐
7、長短推桿之前端,在還沒運用到時,請朝上防止污染。
8、晶片進出爐口時,承接boat的holder,請勿碰觸爐管口,防止污染爐管。
9、石英玻璃制品請小心運用,防止破裂,引起嚴峻割傷。
10、防止吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
11、破晶片、濾紙、棉花棒等,請勿掉入清洗槽的底部排水孔,防止因排水不良造成地板漬水。