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真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中心真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態下作業。在這種極為晦氣的條件下作業，有必要確保各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不焚毀。因而，各部件應該根據不同的情況設置水冷設備，以確保真空熱處理爐可以正常運行并有足夠的運用壽命。
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一般過熱：熱處理加熱溫度過高或在高溫下保溫時間過長，引起奧氏體晶粒粗化稱為過熱。粗大的奧氏體晶粒會導致鋼的強耐性降低，脆性改動溫度升高，添加淬火時的變形開裂傾向。而導致過熱的原因是爐溫外表失控或混料（常為不明白工藝發生的）。過熱組織可經退火、正火或屢次高溫回火后，在正常情況下從頭奧氏化使晶粒細化。
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真空爐一般由主機、爐膛、電熱設備、密封爐殼、真空系統、供電系統、控溫系統和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱蛻變，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用處,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有堆塌，有的還裝有主動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空系統主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。石墨在真空爐上的運用，大大簡化了真空爐的規劃制造，減少了像鎢、鉬、鉭、不銹鋼等金屬的消耗，降低了本錢，前進了真空爐的某些功用和擴展了真空爐的運用范圍。
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燃氣式真空爐是歐美國家在8 0年代后期在石油危機沖擊下和高溫空氣燃燒技能（HTACT）推進下研制開發的一種高效（熱效率可達80%）、優質、節能（60%以上）節材和環保（ NOx、CO2和噪音大大降低）型的新式熱處理設備，因為技能上的先進性和節能節材的巨大潛力其技能經濟效益顯著，一起該技能具有優異的環保特色，契合綠色熱處理和可持續發展戰略，因此具有寬廣的發展前景。
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參照圖紙供應的真空爐平面布置、設備方位和土建條件，選好設備永久設備地址并進行土建施工。設備地址應無煙塵污染，環境清潔，空氣單調，不該與其他設備等放在一起，保持室溫10-35℃，地上平坦光亮。
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將工件加熱到350度，在340度時翻開真空泵，溫度表逐步上升就是正常的，反之就是有走漏疑問。
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在運用真空爐進行作業的時分，最主要的便是為了加熱，在加熱過程中需要要求加熱速率快，選用的加熱材料一定要保證熱導率好，并且在高溫下不能產生變形和許多的熱丟掉，要保證在運用過程中在一段時間內功用要安穩。
