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真空爐（vacuum furnace）是真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵體系聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2～10-4)h。爐內(nèi)加熱體系可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等

大部分加熱與隔熱材料只能在直空狀態(tài)下使用：典空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業(yè)的，因而對(duì)這此材料一提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導(dǎo)熱系數(shù)小等要求，氧化功能要求不高，所以，典空熱處理爐廣泛地選用了鎢、鉑和石墨等作加熱與隔熱構(gòu)料、這此材料在大氣狀態(tài)下極易軌化，因而，常規(guī)熱處理爐是不能選用這此加熱與隔熱材料。

真空爐是利用熱媒水的相變進(jìn)行熱交換的，燃料燃燒釋放出的熱量被熱媒水吸收，當(dāng)溫度上升至某真空狀態(tài)下的飽和溫度時(shí)，蒸發(fā)成飽和和蒸汽，完成一次相變過(guò)程。

真空爐（淬火、回火、退火）就是通過(guò)把資料或零件在真空狀態(tài)下按工藝規(guī)程加熱、冷卻來(lái)到達(dá)預(yù)期功能的一種處理辦法。

它適用于真空度在1.333～3×10Pa規(guī)模的真空熱處理爐。中真空體系在真空熱處理爐中使用廣泛，其一般有兩級(jí)真空泵機(jī)組組成。初級(jí)泵多選用旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或滑閥式機(jī)械泵，主泵為機(jī)械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。

控溫精度：±1℃ 爐溫均勻度：±1℃. 微電腦全主動(dòng)控制，可編制多段升、保、降溫曲線，全主動(dòng)升溫、保溫、降溫文超溫維護(hù)，程序運(yùn)行完畢主動(dòng)中止，無(wú)須值守。

1、操作方便，手動(dòng)/主動(dòng)自在切換，可完成全主動(dòng)操控，充沛避免工作過(guò)程中人為操作失誤。