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　1、真空泵配件的泵和電機的裝置：在進(jìn)行真空泵配件的泵和電機裝置的時分，真空泵和壓縮機在裝置前，先用手轉(zhuǎn)動一下聯(lián)軸器，以證實泵內(nèi)是否有卡信及其它損壞現(xiàn)象。

真空爐一般由爐膛、電熱設(shè)備、真空系統(tǒng)、密封爐殼、供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。密封爐殼用碳鋼或許不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封資料密封。為避免爐殼受熱后變形和密封資料受熱蛻變，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。

　 1、由于煙氣中帶有適當(dāng)數(shù)量的二氧化硫，遇水分就會變成三氧化硫(俗稱的稀硫酸)，對換熱管的表面形成腐蝕。真空回火爐的原理相同如此，需求相同的保養(yǎng)。

工作真空度測量：不低于2.7Pa(在1000空爐時)。

1、空氣預(yù)熱器發(fā)生低溫侵蝕，受熱面外表變得潮濕粗糙，使積灰堵灰加重。 2、省煤器漏水，又未趕緊停爐處理，使預(yù)熱器外表構(gòu)成一層水膜，飛灰與水膜構(gòu)成泥糊狀。將管子擁塞。

真空淬火爐達(dá)不到真空度:或許是真空機組的抽氣才能不夠，也或許是漏率偏高，或兩者都有。

　 我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。目前大多數(shù)真空熱處理爐的作業(yè)真空度在1.33~1.33×10ˉ3Pa。