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真空爐的電熱元件是經過輻射向工件傳熱，所以在其他條件相同時，真空爐的溫度比非真空爐的要高。不過，只在低溫爐中溫度差別才比較顯著。
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真空爐爐膛內的壓力能抽成低於大氣壓力的工業爐。真空爐用電加熱﹐被加熱的工件表面不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機械性能好。用真空爐熔煉金屬有利於除去雜質﹐成品針孔少﹐偏析小﹑質量好。
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真空爐出現於20世紀30年代前后。1927年美國製成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業上已用於熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應爐在工業上得到廣泛應用。1960年美國研製成油淬真空爐。
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為保證窯爐溫度安穩及滿意快速升溫的需求，配套的電氣控制系統應該留有滿意的電壓調整余量——即：新棒時，在較低的電壓下就能滿意窯爐規劃及運用功率；跟著運用時間的連續，棒的阻值變大，此刻需要相應地進步運用電壓，來滿意窯爐規劃及運用功率。
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在選取加熱元件時也要根據自己所需處理產品的化學功用，以免加熱元件的原料影響到工件的質量。因而，真空爐要合理的選取加熱元件。
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真空爐按加熱元件分為真空電阻爐﹑真空感應爐﹑真空電弧爐﹑真空自耗電弧爐﹑電子束爐(又稱電子轟擊爐)和等離子爐等。
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真空爐熱處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個過程，有時只要加熱和冷卻兩個過程。這些過程相互聯接，不行間斷。
