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1.真空爐膛：這是真空燒結爐進行燒結進程的首要組件，它被規劃成能夠接受高溫和真空條件。
2.加熱元件：擔任提供真空燒結爐所需的高溫。根據詳細應用，可以運用不同類型的加熱元件，包括石墨、鎢或鉬。
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1．熱處理廠家冷卻氣體：鋼一般選用百分之99.995純度的N2，高溫合金選用百分之99.999的N2或Ar，鈦合金選用百分之99.995的Ar。
2．工件在真空狀態下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
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真空熱處理爐一、 真空熱處理爐根據用處能夠分為真空淬火爐、真空回火爐、真空退火爐等。
1、真空淬火爐；真空淬火爐可分為真空油淬爐和真空氣淬爐
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真空燒結爐是在真空（或其它氣氛）條件下將資料熱壓成型的成套設備，主要選用電阻或感應加熱，由油缸驅動的壓頭上下加壓。在高溫下，生坯固體顆粒的相互鍵聯，晶粒長大，空隙（氣孔）和晶界逐步削減，通過物質的傳遞，其總體積收縮，密度增加，成為具有某種顯微結構的致密多晶燒結體，從而將物料限制成形。
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外表強化處理，其主要目的是進步模具外表的耐磨性、耐蝕性和光滑功能。外表強化處理辦法很多，主要有滲碳、滲氮、滲硫、滲硼、氮碳共滲、滲金屬等。
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1、真空熱處理爐是近年來取得較大發展的先進熱處理設備，工件是在超低氣壓的空間里進行加熱和冷卻的。它具有質量好、節能和污染少等優點。
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1.鈦合金在真空爐中處理時，由于鈦和氮在高溫下反應生成金鈦氮化物，不能用氮氣作為冷卻氣體。
2.真空爐的活動連接部分全部用O形圈密封，并用水冷卻。
